top of page
SFV Series
● 하중 범위 : 5,000kg ~ 7,200kg
● 위치 안정성 : ≤±5μm
● 진동 전달률 : ≤-20dB@2Hz, ≤-35dB@5Hz,
≤-45dB@10Hz
● 6 DOP (6 Degrees Of Freedom)
● Active Isolation Range : 0.5 ~ 150Hz
● Passive Element : Pneumatic Air S pring,
Magnetic Negative Stiffness
- SFV Vacuum Series
SFV 시리즈 진공용 능동 진동 아이솔레이터는 수직 방향에서 공압식 에어 스프링과 자기 음의 강성 메커니즘을 병렬로구성하여 주요 지지체로 사용합니다.수평 방향에서는 기계식 도립진자형 음의 강성 메커니즘과 양의 강성 메커니즘을 병렬로구성합니다.수직 및 수평 방향 모두에서 능동 진동 제어와 정밀 위치 제어를 결합하여,6자유도 전 방향의 고성능 능동 진동차단 및 안정화를 실현합니다.이 시리즈는 진공 환경에서의 사용에 적합합니다.
bottom of page