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FSD Series
● 하중 범위 : 5,000kg ~ 7,200kg
● 위치 안정성 : ≤±5μm
● 진동 전달률 : ≤-20dB@2Hz, ≤-35dB@5Hz, ≤-45dB@10Hz
● 6 DOP (6 Degrees Of Freedom)
● Active Isolation Range : 0.5 ~ 150Hz
● Passive Element : Pneumatic Air S pring, Magnetic Negative Stiffness
- FSD Integrated Platform Series
FSD 시리즈 능동 진동 제진 플랫폼은 4개의 진동 제진 모듈을 하나의 플랫폼으로 통합했습니다.
각 모듈은 코일 스프링을 주요 지지대로 사용하여 3방향 진동 제진을 구현합니다.
수직 및 수평 방향의 능동 진동 제어와 결합하여 6자유도에 걸쳐 고성능 능동 진동 제진을 구현합니다.
또한, 정밀 위치 제어 기능을 옵션으로 장착할 수 있습니다.
검사 및 계측 장비의 고성능 진동 제진 요건을 충족합니다.
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