top of page
SFN Series
● 하중 범위 : 3,000 ~ 6,400kg
● 위치 안정성 : ≤±5μm
● 진동 전달률 : ≤-20dB@2Hz, ≤-35dB@5Hz,
≤-50dB@10Hz
● 6 DOP (6 Degrees Of Freedom)
● Active Isolation Range : 0.5 ~ 150Hz
● Passive Element : Pneumatic Air Spring , Passive
Element Magnetic Negative Stiffness
- SFN Compound Spring Series
SFN 시리즈 고성능 능동 진동 절연기는 수직 방향의 주 지지대로 공기 스프링과 자기식 부강성 메커니즘을 병렬로 사용하고, 수평 방향의 부강성 메커니즘과 정강성 메커니즘을 병렬로 연결한 기계식 역진자를 수직 및 수평 능동 진동 제어 및 정밀 위치 제어와 결합하여 6자유도의 고성능 능동 진동 절연 및 자세 안정화를 달성합니다. SFN 시리즈는 초정밀 제조 장비의 고성능 진동 절연 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다.
bottom of page