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SST Series
● 하중 범위 : 1,000kg ~ 2,000kg
● 위치 안정성 : ≤±10μm
● 진동 전달률 : ≤-3dB@2Hz, ≤-12dB@5Hz,
≤-25dB@10Hz
● 6 DOP (6 Degrees Of Freedom)
● Active Isolation Range : 1 ~ 150Hz
● Passive Element : Coil Spring
- SST Coil Spring Series
SST 시리즈 고성능 능동 진동 아이솔레이터는 코일 스프링을 주요 지지 방식으로 사용하여 3축 방향의 진동 차단을실현합니다.수직 및 수평 방향의 능동 진동 제어와 결합하여 6자유도 전 방향의 고성능 진동 차단 성능을 제공합니다.또한정밀 위치 제어 기능도 옵션으로 탑재 가능하며,후공정 패키징, 반도체 검사 등 다양한 장비의 고성능 진동 차단 및 충격안정성 요구사항을 충족합니다.
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